MICROSCOPIA ELECTRÓNICA DE BARRIDO
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FUNDAMENTOS DE LA TÉCNICA

Cuando un haz de electrones incide sobre la superficie de un sólido, tienen lugar varios fenómenos: reemisión de una parte de la radiación incidente, emisión de luz, electrones secundarios y Auger, rayos X, etc. Todas estas señales se pueden emplear para obtener información sobre la naturaleza de la muestra (morfología, composición, estructura cristalina, estructura electrónica, etc.) y de hecho, los dos  microscopios electrónicos de barrido con los que cuenta los Servicios Técnicos de Investigación, JEOL JSM-840 e HITACHI S-3000N, disponen de detectores que permiten el análisis de electrones secundarios electrones retrodispersados y rayos X característicos.

La técnica consiste, principalmente, en enviar un haz de electrones sobre la muestra y mediante un detector apropiado registrar el resultado de esta interacción. El haz se desplaza sobre la muestra realizando un barrido en las direcciones X e Y de tal modo que la posición en la que se encuentra el haz en cada momento coincide con la aparición de brillo, proporcionalmente a la señal emitida, en un determinado punto de una pantalla.

Las imágenes que se obtienen en el microscopio electrónico de barrido corresponden a electrones secundarios o electrones retrodispersados emitidos tras la interacción con la muestra de un haz incidente de entre 5 y 30 KeV.

La señal de electrones secundarios se forma en una delgada capa superficial, del orden de 50 a 100 Å. Al ser grande el número de electrones emitido se puede establecer un buen contraste. Por otra parte, al ser electrones de baja energía, menos de 50 eV, pueden ser desviados fácilmente de su trayectoria emergente inicial, y se puede obtener información de zonas que no están a la vista del detector. Esta particularidad es fundamental para otorgar a esta señal la posibilidad de aportar información “en relieve”. La apariencia de la imagen es la que tendría una muestra que hubiese sido iluminada desde el detector y se estuviese observando desde el cañón de electrones.

En cuanto a la señal de electrones retrodispersados, su principal utilidad reside en que su emisión, que se debe a choques de tipo elástico y por tanto con energía del mismo orden que la de los electrones incidentes, depende fuertemente del número atómico de la muestra. Esto implica que dos partes de la muestra que tengan distinta composición se revelan con distinta intensidad aunque no exista ninguna diferencia de topografía entre ellas. Los electrones retrodispersados salen de la muestra en mayor cantidad en las direcciones próximas a la de incidencia, por lo que su detección se hace mejor en las proximidades del eje de incidencia.

Finalmente, los Rayos X que se generan en una muestra sometida a bombardeo electrónico permiten identificar los elementos presentes y establecer su concentración. Cuando una haz electrónico suficientemente acelerado incide sobre la superficie de un sólido, se produce la ionización de los átomos presentes, esto es, la pérdida de electrones internos. En este estado un electrón de una capa más externa salta inmediatamente a la capa deficitaria, y rellena el hueco producido. Este salto implica una liberación de energía, cuyo valor es igual a la diferencia entre las energías que tenía cada electrón en su orbital correspondiente. Esta energía se manifiesta de dos formas: electrones Auger o rayos X y es única para cada elemento. Cuando se representa la intensidad de esta radiación electromagnética frente a su energía se obtiene un espectro de rayos X, constituido por una serie de picos, designados como líneas, de intensidad variable, a los que se denomina rayos X característicos, que está superpuesto a un  fondo continuo de menor intensidad (Rayos X continuos). En algunos casos aparecen además unas líneas satélite, asociadas a las líneas características.

APLICACIONES

Las  aplicaciones de la técnica son muy numerosas tanto en Ciencia de Materiales, como en Ciencia Biomédica. Dentro de la Ciencia de Materiales destacan las aplicaciones en metalurgia, petrología y mineralogía, materiales de construcción, materiales cerámicos tradicionales y avanzados, electrónica, fractografía y estudio de superficies y composición elemental de sólidos en general. La microscopía electrónica de barrido también se aplica en botánica, en el estudio de cultivos celulares, en dermatología, en odontoestomatología y biomateriales, en hematología, inmunología, y en el estudio de la morfología de preparaciones biomédicas en general.

Polen de Vrisea Incurvanta Fam. Bromeliaceae
Cortesía de Mario Martínez Azorín

Radiolario
Cortesía de José Enrique Tent Manclus.
Dep. Ciencias de la Tierra


REQUISITOS Y LIMITACIONES

Es fundamental que las muestras que vayan a ser observadas en MEB estén exentas de líquidos y además que sean conductoras.

Secado de las muestras:

Las muestras que quieran ser investigadas mediante microscopía electrónica de barrido deben ser secadas antes de ser introducidas en el microscopio, de otro modo la baja presión en el mismo causará que el agua (y otros líquidos volátiles) se evapore saliendo violentamente del espécimen y alterando la estructura del mismo. Muestras con una rigidez inherente como metales, rocas, huesos, etc. se pueden secar al aire o en un desecador de vacío sin que su estructura sufra alteración alguna. Sin embargo, las estructuras blandas con un alto contenido en agua se deformarán si se dejan secar al aire ya que las fuerzas de tensión superficial asociadas a la salida del agua causarán daños estructurales. Para evitar los efectos dañinos que las fuerzas anteriormente mencionadas tienen en la estructura de los especimenes secados al aire, durante el proceso de secado debe pasarse el límite entre la fase “líquido-gas”. Entre los métodos que existen para conseguirlo se encuentra el método del punto crítico en el cual el líquido pasa directamente a la fase gas. De este modo las fuerzas de deformación se evitan debido a que el proceso de secado tiene lugar por encima del punto crítico del líquido, donde el límite entre la fase líquida y la fase gas no existe.

El punto crítico es aquel estado particular de un gas en el cual todavía puede sufrir licuefacción.  Este estado viene determinado por la presión crítica y la temperatura crítica. Por encima de este punto el gas no puede experimentar licuefacción debido a que el límite entre la fase gaseosa y la fase líquida ha desparecido: En este punto el estado líquido y el estado gas son igualmente densos. Éste es el punto crítico. El líquido pasa a la fase gas sin pasar por el límite de fases “líquido-gas”, y la muestra se seca sin los efectos dañinos del secado en aire.

Según los valores de presión y temperatura crítica del agua, 228.5 bar y 374 ºC, si un espécimen contiene agua no puede ser secado mediante el método del punto crítico ya que los valores tan altos de presión y temperatura podrían destruirlo. Así la muestra debe ser transferida a un agente apropiado, llamado fluido transicional, tal como es el dióxido de carbono cuyos valores de punto crítico son considerablemente más ventajosos, 73.8 bar y 31 ºC.

Recubrimiento de las muestras no conductoras:

Cuando se desea visualizar una muestra en un microscopio electrónico de barrido ésta debe ser conductora ya que, de no ser así, se carga durante la irradiación por una acumulación de carga que desvía el haz electrónico y, como consecuencia de ello aparecen distorsiones en  la imagen. Una solución a este problema es recubrir la muestra con una película conductora, de espesor comprendido entre 10 y 25 nm.

Las técnicas empleadas para mejorar la conductividad de las muestras para su estudio al microscopio electrónico de barrido son la evaporación térmica y el recubrimiento por sputtering. Ambas conducen a los mismos resultados pero los mecanismos son distintos.

La elección del material con el que se va a recubrir la muestra dependen fundamentalmente del estudio que se va a realizar. Así, para la observación de imágenes de electrones secundarios el oro y el oro-paladio son los materiales que conducen a los mejores resultados; al ser elementos pesados, producen mayor emisión. Cuando lo que se pretende es realizar un estudio microanalítico es recomendable emplear carbono. El bajo número atómico de este elemento lo hace prácticamente transparente a los rayos X emitidos por la muestra. También se emplean, a veces, aluminio, cromo, etc.

El depósito de películas metálicas se puede realizar tanto por evaporación térmica como por sputtering, pero cuando se recubre con carbono se utiliza habitualmente la evaporación térmica.


DESCRIPCIÓN DEL EQUIPO

Los dos microscopios electrónicos de barrido con los que se cuenta son:


JEOL JSM-840

El microscopio consta de un detector de electrones secundarios tipo centelleador-fotomultiplicador con resolución de 4 nm, un detector de electrones retrodispersados tipo Si P-N con resolución de 10 nm y un detector de rayos X  tipo UHV Dewar Si(Li) de Bruker para microanálisis (EDS),capaz de detectar elementos de número atómico comprendido entre los del C y el U.



Para la observación de muestras en este equipo los requisitos son que éstas tengan ausencia de líquidos y que estén recubiertas con material conductor si no son conductoras.


HITACHI S-3000N

El equipo consta de un detector de electrones secundarios tipo centelleador-fotomultiplicador con resolución de 3.5 nm, un detector de electrones retrodispersados tipo semiconductor  con resolución de 5 nm y un detector de rayos X tipo XFlash 3001 de Bruker para microanálisis (EDS) y mapping, capaz de detectar elementos de número atómico comprendido entre los del C y el U.



Además el equipo dispone del modo de trabajo en presión variable (para observación de muestras no conductoras sin necesidad de recubrirlas con material conductor).

Acoplada al microscopio se encuentra la unidad de criomicroscopía Oxford CT 1500 Cryostation mediante la cual se puede observar material biológico fresco sin tratarlo previamente

 
Para la observación de muestras en este equipo los requisitos son que éstas tengan ausencia de líquidos y que estén recubiertas con material conductor, si no son conductoras, cuando se trabaje en el modo de alto vacío; no será necesario en cambio cuando se trabaje en el modo de presión variable o bien con la unidad de criomicroscopía.

El instrumental para la preparación de muestras es el siguiente:
  • Equipo de secado por punto crítico de la marca ELECTRON MICROSCOPY SCIENCES, modelo EMS 850
  • Metalizador (Au) / Evaporador (C) de la marca BALZERS, modelo SCD 004  y otro modelo MED 020, ambos de bajo vacío.

EXPERIENCIA DEL EQUIPO

Debido por un lado a la versatilidad de la técnica y  a que está a disposición  tanto de los miembros de la Universidad de Alicante como de empresas y otros organismos, es amplia la variedad de muestras que han sido analizadas en MEB. Como ejemplos se pueden destacar: carbones, zeolitas, metales, restos arqueológicos, minerales y rocas, muestras biológicas de todo tipo (hojas, polen, hongos, insectos, células, etc.), materiales de construcción, etc.

PERSONAL

Andrés Amorós Rodríguez
Verónica López Belmonte

Teléfono: 96590 3400 Ext. 3353