![]() |
| I . Presentación
I.2 Acto de apertura del curso académico
1998-1999 (2 de octubre de 1998)
I.2.1 LECCIÓN INAUGURAL DEL CURSO ACADÉMICO 1998-1999.
«DESCARGAS ELÉCTRICAS EN GASES Y PLASMAS: APLICACIONES» por JOSÉ ANTONIO VALLÉS ABARCA Catedrático de la Facultad de Ciencias
Foto Juan Manuel Torregrosa
Homenaje al Prof. Dr. D. Maximino Rodríguez Vidal. I. Descargas eléctricas en gases. I.1 Conducción de la electricidad en la materia. I.2 Generación y transporte de cargas eléctricas en gases: descargas. II.1 Caracterización y clasificación de los plasmas. II.2 Producción de los plasmas. IV. Estudios y trabajos relacionados con los plasmas en la Universidad de Alicante. Deseo
que esta lección sea un homenaje al Prof. Dr. D. Maximino Rodríguez
Vidal, Catedrático de Electromagnetismo de la Universidad
Complutense, Miembro de la Real Academia de Ciencias Exactas, Físicas
y Naturales, Medalla Alfonso X el Sabio al Mérito Docente... Él
fue mi Maestro (inició su actividad profesional como Maestro
Nacional, así se llamaba entonces, en un ignoto pueblo de Lugo:
Bullan): como profesor, como director de tesis, como preparador en la disciplina
Electricidad y Magnetismo.él fue mi Jefe, como le llamábamos
respetuosa pero cariñosamente sus colaboradores, como Profesor adjunto,
como Profesor Agregado (lástima que mi acceso a Cátedra nos
separó físicamente... y algo más). Pero sobre todo
fue un ejemplo constante y un segundo padre (me acompañó
al quirófano cuando me operaron el año 1965, pues mis padres
acobardados no se sentían con fuerzas). Para todos los que tuvimos
la honra de estar a su lado siempre ha sido, es y será un estímulo
para nuestra actividad docente.
También deseo recordar al compañero de mi Departamento
Enrique Alfonso Abad Sempere que se nos fue de forma inesperada y trágica
el pasado curso académico, muy conocido en esta Universidad desde
que se inició su germen, que fue el CEU, y hasta en la reciente
celebración del XXV aniversario del CEU. El mejor recuerdo será
iniciar esta lección con el grito que se intercambian los "festers"
de sus queridas Fiestas de Moros y Cristianos de Alcoy: Tot be, tot
bonic, nos passa res i si passa ... que passe.
Foto Juan Manuel Torregrosa
Honorable Sr. Conseller de Cultura, Educació i Ciència de la Generalitat Valenciana Excelentísimos y Magníficos Señores Rectores, Excelentísimos e Ilustrísimos Señores, Personal de la Universidad de Alicante, Docente, Investigador, Administración y Servicios, Alumnas y Alumnos, Señoras y Señores.
En el ritual del acto académico de apertura del curso universitario
es una tradición el desarrollo de una lección por parte de
uno de los profesores del Claustro que se elige empleando un criterio de
reparto cíclico entre los distintos Centros que componen la Universidad,
en este caso la Facultad de Ciencias. Dentro de cada Centro se propone
al profesor más antiguo en el escalafón burocrático:
éste es mi caso, tras los profesores Francisco Ruiz Beviá,
Eduardo Cadenas Bergua y Antonio Aldaz Riera. Sirvan estas primeras observaciones
para aclarar que mi presencia es fruto de estos hechos y no de especiales
méritos docentes o de investigación.
La concreción de la lección plantea, al menos, dos problemas
iniciales referidos a la heterogeneidad de la audiencia ante la que se
"lee" y al nivel de su contenido. La especialización inherente dentro
de cada área de conocimiento lleva a que resulte en ocasiones difícil
entender las investigaciones que realizan compañeros de un mismo
Departamento, en especial si reúnen distintas áreas. En consecuencia,
he optado por desarrollar un tema con un contenido de carácter general
y un nivel no especializado con el difícil objetivo de aclarar algunos
términos, ideas o conceptos y de motivar la curiosidad por el estudio
de las aplicaciones, tanto en su sentido de extensión de nuestro
conocimiento como de fundamento para realizaciones prácticas, de
los Plasmas o gases ionizados con unas características específicas
que trataré de detallar. Tanto el área de conocimiento a
la que pertenezco, Física Aplicada, como la actividad investigadora
que he desarrollado desde mi incorporación a la Universidad de Alicante,
Aplicaciones de los haces iónicos en Microelectrónica, explican
esta elección.
Otras razones son de tipo histórico, pues desearía recordar
dos efemérides recientes de las que los medios de comunicación
social se hicieron eco. En octubre de 1997 (1) se cumplió el centenario
de la publicación de J.J. Thompson, del Laboratorio Cavendish de
la Universidad de Cambridge, de sus trabajos sobre descargas eléctricas
en los gases que le hacían concluir que los denominados entonces,
y ahora, rayos catódicos eran haces de "corpúsculos", partículas
con una masa y carga características. Fue la primera propuesta de
una partícula "elemental" que se denominó electrón.
Estos estudios sobre la conducción de electricidad en los gases
fueron la justificación de la concesión de los Premios Nobel
en Física de 1906 a P. Lenard (rayos catódicos) y de 1907
al propio J.J. Thompson. En el presente año de 1998 estamos recordando
el cincuentenario del descubrimiento del efecto transistor en los estudios
sobre semiconductores de W. Shockley, J. Bardeen y W.H. Brattain que les
justificó para la concesión del Premio Nobel en Física
de 1956.
Mi intención en esta lección es presentar una relación
entre estos dos aspectos de la Física experimental y aplicada, aparentemente
tan dispares, cuyas consecuencias tecnológicas están
presentes en nuestra vida cotidiana y nos anuncias continuos progresos
en un futuro no muy lejano. El puente que conectará ambos temas
serán los Plasmas. Una anécdota puede servir para evitar
desde el comienzo de esta lección una "lógica" confusión
terminológica. En el verano de 1980 dentro de los cursos de la Universidad
Menéndez y Pelayo de Santander dirigí un curso cuyo título
era "Aplicaciones de los Plasmas". Al concluir la presentación del
mismo se me acercaron horrorizados tres matriculados que eran alumnos de
estudios de Ciencias de la Salud, pues se llevaron el chasco de que no
eran plasmas ... sanguíneos. Me parece oportuno hacer esta aclaración
dado que el uso más generalizado corresponde a su significación
biomédica. Éste es un ejemplo más de los posibles
problemas de comunicación entre las distintas disciplinas y entre
los científicos y la sociedad.
Una ventaja inicial del tema escogido es que todos tenemos una experiencia
directa de descargas eléctricas, como ocurren en las tormentas acompañadas
de "rayos" en los que percibimos fenómenos visuales (relámpago),
sonoros (trueno) en incluso químicos, pues en las proximidades donde
"cae" un rayo se detecta un olor picante. Estas descargas "naturales" no
van a ser el objeto de nuestra lección, pero dejemos constancia
de la interpretación mítica que en la Odisea hace
Homero como un recurso del dios Zeus: "...despidió un trueno y al
propio tiempo arrojó un rayo en nuestra nave; ésta se estremeció,
al ser herida por el rayo de Zeus, llenándose del olor del azufre"
(Rapsodia XII).
Aunque puede resultar innecesario manifestarlo, el texto escrito
que se presenta no se corresponde con la exposición oral desarrollada.
Intencionadamente, sólo fue un resumen con el modesto objetivo de
sugerir o aclarar algunas ideas y conceptos y de motivar la curiosidad...
sin aburrir a la heterogénea audiencia presente.
I.
Descargas eléctricas en gases
La electricidad es la parte de la Física que se ocupa del estudio
de los fenómenos eléctricos, entendiendo como tales aquellos
que ofrecen características análogas a las nuevas propiedades
que adquiere el ámbar al ser frotado con un trozo de lana (atrae
pequeñas partículas), experiencia ya conocida por los griegos
y que explica la razón etimológica de la palabra electricidad
(ámbar). Para caracterizar este estado de la materia en el que se
presentan estas nuevas acciones eléctricas, se dice que está
electrizada o cargada y se introduce una nueva magnitud física,
la carga, que puede presentarse dos formas, como lo demuestra el
hecho de que pueden ser poder ser las acciones entre cuerpos cargados
repulsivas o atractivas en contraposición a lo que ocurre con las
acciones gravitatorias que siempre son atractivas.
A grandes rasgos se puede distinguir cuatro periodos en el desarrollo
histórico de la Electricidad: 1) Electrostático, que culmina
con la formulación cuantitativa de Coulomb (1729) de la fuerza entre
cargas; 2) Electrocinético, en el que la atención se centra
en la producción y los efectos de la corriente eléctrica;
3) Electromagnético, en el que el abundante trabajo experimental
e interesantes observaciones fenomenológicas debidas a Faraday,
permiten la primera sistematización de los fenómenos
eléctricos y magnéticos que realizó Maxwell; 4) Electrónico-Relativista,
en el que, descubierto el carácter discreto de la carga eléctrica
por ser siempre múltiplo de una cantidad mínima, la carga
del electrón, se exige un replanteamiento del electromagnetismo
como realizó Lorentz que a su vez formula sus conocidas relaciones
de transformación de coordenadas que son una de las muchas consecuencias,
o mejor, razones, de los postulados de la Relatividad de Einstein.
La teoría atómica de la materia nos permite comprender
el significado de la expresión cuerpo cargado. El núcleo
reúne concentrada la carga positiva y alrededor de él pero
bastante distantes se encuentran los electrones (cuantos de carga negativa)
en número igual al de protones (cuantos de carga positiva) que tiene
el núcleo, de tal forma que la carga total neta es nula. Pero si
un átomo pierde un electrón se convierte en un ión
cargado positivamente (catión) y ocurre lo contrario si adquiere
un electrón en exceso siendo entonces la carga negativa (anión).
En resumen, el proceso de aparición de cargas en los cuerpos materiales
es simplemente una pérdida o ganancia de electrones en el caso más
sencillo. Así explicamos el fenómeno de electrización
del ámbar por frotamiento con lana pues al tener los dos cuerpos
en contacto diferente características eléctricas, los electrones
se redistribuyen quedando en exceso en uno de ellos, que queda cargado
negativamente, mientras el otro queda cargado positivamente. Un mismo cuerpo
puede quedar cargado positiva o negativamente según las características
del cuerpo con el que esté en contacto. Este carácter positivo
o negativo se puede comprobar en forma experimental sencilla empleando
un péndulo eléctrico que consiste en una pequeña esfera
de médula de saúco (cuerpo muy ligero) suspendido por un
hilo de seda de un punto fijo. Al acercar el ámbar recién
frotado con lana, la esfera es atraída pero si choca con él
es repelida. Si después de esta experiencia acercamos vidrio también
recién frotado con lana la esfera es atraída y como antes
puede ocurrir que al tocar sea repelida. Concluimos con estos sencillos
experimentos la existencia de dos estados de carga, positivo y negativo,
y que las cargas del mismo signo se repelen y las de distinto se atraen.
I.1.
Conducción de la electricidad en la materia
Deliberadamente he usado la anacrónica denominación "conducción
de la electricidad" para este primer subapartado, dado que es la que históricamente
se empleó para identificar este tipo de estudios. Un buen ejemplo
es el libro de los Thompson (2): J.J. Thompson, padre, que ya hemos mencionado
y su hijo G.P. Thompson, Premio Nobel de Física en 1937 por el descubrimiento
experimental de la difracción de electrones por cristales. Hoy en
día, aunque se utilice la expresión, sabemos que lo que se
conduce, mejor transporta, son cargas eléctricas, electrones ("huecos")
e iones (cationes y aniones), móviles, los portadores de
carga en el caso de corrientes de conducción, presentes en los llamados
no conductores. Existen también otros tipos de corrientes como son
las de convección y las de desplazamiento. Un ejemplo de corriente
sin portadores del material son los "tubos de vacío" como los aparatos
de televisión o los osciloscopios: un filamento incandescente, el
cátodo, emite (inyecta) electrones que son atraídos por un
electrodo positivo (ánodo) no existiendo materia (vacío físico)
entre ambos electrones que al impactar en una pantalla recubierta con material
fluorescente( o fosforescente si se trata de osciloscopios de pantalla
persistente) producen una emisión en el visible que es la que permite
la visualización del punto de impacto. Las corrientes de desplazamiento,
introducidas por Maxwell en su genial síntesis del Electromagnetismo,
están asociadas con campos eléctricos variables incluso en
el vacío (físico).
En el caso de los sólidos, los metales son un claro ejemplo de conductores y Ohm descubre una dependencia lineal entre la diferencia de potencial aplicada entre sus extremos, medida con un voltímetro, y la intensidad de corriente circulante, medida con un amperímetro. El cociente entre estas medidas, la resistencia eléctrica, es una característica del material y de la geometría del hilo empleado. Este comportamiento caracteriza a los conductores óhmicos. En el caso de los líquidos, prácticamente sólo los metales fundidos son conductores, pero las disoluciones acuosas de sales como el cloruro sódico presentan fenómenos de conducción y de electrólisis. Tenemos una distinción entre conductores iónicos o electrolíticos y conductores electrónicos o metales. I.2.
Generación y Transporte de cargas eléctricas en gases: Descargas
El estudio experimental de la conducción de la electricidad en
los gases necesitó no sólo disponer de máquinas eléctricas
que suministraran de forma continua una diferencia de potencial eléctrico,
como ocurre básicamente en el caso de sólidos y líquidos,
sino también de técnicas de evacuación que permitan
controlar el contenido de los tubos que incorporan los electrodos para
analizar el paso de la corriente a través del gas a una presión
que también hay que controlar y medir. Estas razones explican que
el estudio de las propiedades eléctricas de la materia para el caso
de gases se desarrollase a comienzos del siglo XIX con más dificultad.
Pero a diferencia de los sólidos y de los líquidos se encontraron
efectos visuales que explican el interés generalizado, pese a los
problemas prácticos para la reproducción de resultados.
I. Langmuir, en sus trabajos iniciados a comienzos de los años
veinte para desarrollar válvulas que permitieran el paso de corrientes
elevadas, introdujo en 1929 la palabra "Plasma" para describir los gases
ionizados. Con más precisión se puede definir como un gas
de partículas neutras y cargadas que es casi neutro y que
presenta un comportamiento colectivo (5). Este comportamiento colectivo
se debe al largo alcance de las fuerzas eléctricas y a que la existencia
de cargas móviles puede provocar que se produzca una ligera pérdida
local de la neutralidad espacial, lo que origina campos eléctricos
a los que se ven sometidas las cargas. También como consecuencia
del movimiento de las mismas se producen campos magnéticos que ejercerán
acciones dinámicas sobre las cargas.
La crisis energética de finales de 1973, provocada por el incremento
espectacular del precio del crudo acordada por la Organización de
Países Exportadores de Petroleo (OPEP), dinamizó la búsqueda
de otras fuentes energéticas. Los estudios básicos y aplicados
de los procesos de fusión (¡caliente!, no el fiasco de la
fusión "fría") fueron un claro aliciente para la propuesta
de reactores nucleares de fusión, tratando de reproducir en la Tierra
los procesos energéticos que ocurren en el Sol y en otras estrellas.
Volveremos sobre este tema en el apartado de Aplicaciones.
II.1
Caracterización y Clasificación de los Plasmas
De una forma general, los parámetros que caracterizan al Plasma
serán la concentración media de electrones que suponemos
igual a la de iones (monopositivos), y la concentración de neutros,
o equivalentemente el grado de ionización, y por otra las distribuciones
energéticas y las energías medias o la temperatura equivalente.
Estos valores se suelen indicar en unidades energéticas, electronvoltios
(eV), en valores absolutos, grados Kelvin (K). La equivalencia de estas
unidades con la normada en el Sistema Internacional, julio (J) es 1 eV
º
1,6´ 10-19 J, 1K º
1,36´ 10-23 J, o bien la relación
entre las unidades de uso 1 eV º 11765
K y a la inversa 1 K º 8,5´
10-5 eV.
Los enfoques teóricos generales (11) de la interacción
de gases ionizados con campos electromagnéticos son tres. El primero
es la teoría del equilibrio que se basa en la hipótesis
de que las colisiones entre las partículas cargadas conducen a una
distribución tipo Maxwell-Boltzmann. El segundo es la teoría
orbital que parte del estudio del movimiento de los electrones y de
los iones. El tercero es la formulación hidromagnética
en la que se combinan las ecuaciones clásicas (de Maxwell) del Electromagnetismo
con las ecuaciones clásicas del movimiento de fluidos y es un buen
punto de partida para analizar los aspectos dinámicos asociados
al carácter colectivo de los Plasmas.
Un aspecto dinámico que se debe indicar es la frecuencia propia
de las oscilaciones de plasma debidas al carácter colectivo. La
denominada frecuencia de plasma es directamente proporcional a la raíz
cuadrada de la concentración de las especies cargadas, e inversamente
proporcional a la raíz cuadrada de la masa. Sus valores para electrones
e iones son bastante diferentes: para el ión menos pesado, el protón,
su valor es unas 43 veces menor. Si el Plasma se somete a una perturbación
de frecuencia menor que la frecuencia de plasma de las partículas
cargadas (electrones e iones), éstas responderán tratando
de mantener la neutralidad del Plasma, cosa que no ocurrirá en las
situaciones en que sea la frecuencia mayor. La diferencia entre frecuencias
de plasma de los electrones e iones es el origen del comportamiento tan
variado de los Plasmas para la propagación de ondas electromagnéticas
según sea el valor de la frecuencia. Este fenómeno se conoce
como dispersión. La presencia de campos magnéticos provoca
que el Plasma, medio magnetoactivo, se comporte de forma anisótropa
(12, 13).
Para clasificar los Plasmas se puede utilizar distintos enfoques. Aquí
vamos a utilizar el Termodinámico (14). Existen Plasmas en equilibrio
termodinámico global (CTE- Complete Thermodynamic Equilibrium-Plasmas)
para los que las distintas temperaturas antes introducidas coinciden, que
sólo existen en las estrellas y durante brevísimos intervalos
temporales en explosiones violentas. Tambén se distinguen Plasmas
en equilibrio termodinámico local (LTE-Local Thermodynamic
Equilibrium-Plasmas) en los que todas las temperaturas coinciden, a excepción
de la temperatura de radiación, por lo que también se los
conoce como Plasmas térmicos ("Thermal Plasmas" o calientes).
Los Plasmas "calientes" se presentan en los sistemas de depositación
de recubrimientos y de reducción y fusión de gangas metalúrgicas
(antorcha o soplete de plasma) y en los reactores experimentales de fusión
termonuclear. Por fin tenemos los Plasmas más frecuentes en el laboratorio
en los que no existe equilibrio local y que se denominan fríos.
Éste es el caso de las descargas en gases a baja presión.
II.2
Producción de los Plasmas
En el universo se presentan Plasmas cuyas características varían
en un rango amplísimo: las concentraciones electrónicas,
entre 1 y 1020 cm-3 (¡20 órdenes de
magnitud!) y las temperaturas electrónicas entre 10-2
y 105 eV (¡sólo 7 órdenes de magnitud =
10 millones!). El espacio interestelar contiene un plasma de hidrógeno
con una concentración de 1 electrón por centrímetro
cúbico, pero en la ionosfera la concentración es un millón
de veces mayor y la temperatura electrónica 0.1 eV. En el Sol y
otras estrellas las temperaturas en la superficie varían entre 0.5
y 7 eV (5000 y 70000 K). El núcleo del Sol se admite que es un plasma
completamente ionizado con una temperatura de unos 2 keV (¡unos 24
millones de grados Kelvin!).
El fundamento de los métodos de producción de Plasmas
en el Laboratorio es muy simple: aportar energía a un gas, provocando
su ionización, o a un sólido para conseguir una sublimación
ionizante. En el cuadro que se acompaña se recogen distintas
aproximaciones para conseguir este objetivo. Los sistemas o reactores
que realizan estos diseños conceptuales son enormemente variados
y no podemos entrar en la descripción de sus elementos constitutivos,
materiales empleados, problemáticas...
Para los Plasmas fríos ya hemos indicado que se producen
en las descargas eléctricas al aplicar una diferencia de potencial
(voltaje) de corriente continua (cc) a un gas a presión reducida.
También se puede emplear como excitación voltajes de corriente
alterna (ca), bien de RF (radiofrecuencia asignada para uso industrial
13,56 MHz), o bien microondas (frecuencia asignada 2,45 GHz). En el caso
de voltajes variables con el tiempo se puede recurrir a aplicarlos directamente
a electrodos en contacto con el gas o al acoplamiento inductivo o capacitivo
sin electrodos.
Para los Plasmas Termonucleares (calientes) existen dos propuestas
base: el confinamiento por campos eléctricos y magnéticos
empleando estructuras toroidales (Tokamaks – en terminología
rusa, que se utiliza genéricamente – Stellarators y Reversed
Field Pinches – RFP) (15) y el confinamiento inercial, en el
que se enfocan sobre microesferas de tritio haces de láser de potencia
elevadísima. Esta última aproximación se incluía
dentro de la propuesta norteamericana de Guerra de las Galaxias
(Star Wars, Strategic Defence Iniciative – SDI) (16).
Tratar de presentar una simple panorámica del campo de las aplicaciones
de los Plasmas es tarea harto difícil dada su enorme variedad. Voy
a intentar resumirlas en cuatro grupos:
1) Fuentes de radiaciones corpusculares, como son los cañones
de iones que producen haces de iones positivos o negativos con energía
traslacional dirigida y diversa –desde eV hasta MeV- que normalmente son
extraídas de una descarga o de un Plasma. Otro ejemplo son las antorchas
o sopletes de plasma, ya mencionados.
2) Fuentes de radiaciones fotónicas, como son los tubos
de neón publicitarios, los tubos fluorescentes, empleados en luminotecnia,
los láseres de gas, las espectroscopías de emisión
por Plasma con Acoplamiento Inductivo (ICP) de interés analítico.
3) Plasmas y Fusión Nuclear (17), tanto para estudios
básicos en Astrofísica como aplicados para generar energía
–reactores nucleares. Se utilizan de forma muy expresiva los términos
espejos y botellas magnéticas para referirse a estas estructuras
del campo. Aunque se han descrito varias posibilidades, la más frecuente
es la de toroide, o tokamak en su denominación soviética.
Se están desarrollando distintos proyectos a nivel europeo JET,
NET, e internacional. ITER. En España en el CIEMAT de Madrid, están
experimentando con un reactor toroidal de tamaño reducido, TJII
(18).
El futuro de todas estas investigaciones es dudoso por la retirada de
los Estados Unidos en octubre de 1998 del proyecto internacional ITER que
se estaba desarrollando en colaboración con la Unión Europea,
Japón y Rusia. Los tres socios que permanecen desean continuar pero
las probabilidades son una incógnita.
4) Plasmas y Materiales (14) Éste es un campo
con un desarrollo potentísimo tanto en Microelectrónica como
en Ciencia e Ingeniería de los Materiales. En el cuadro se recogen
algunas de las posibilidades, derivadas del hecho de que siendo fríos
la existencia de especies excitadas y reactivas permiten la producción
de reacciones o procesos singulares para la baja temperatura (19,
20).
IV.
Estudios y trabajos relacionados con los Plasmas en la Universidad de Alicante.
Para terminar intentaré presentar las actividades tanto docentes
como de investigación que se desarrollan en esta Universidad relacionadas
con Plasmas. Posiblemente mi información no sea totalmente correcta
y agradecería que me suministren las correcciones y las adiciones
pertinentes.
La investigación es variada y dispersa. En el Departamento de
Física Aplicada, el Laboratorio de Capas Finas y Colisiones Atómicas,
constituido al incorporarse a esta Universidad los Profs. Gras Martí
y Vallés Abarca, trabaja en procesos de Grabado Seco en Microelectrónica.
También en nuestro Departamento, este Laboratorio en colaboración
con el Laboratorio de Materiales Fotosensibles, que dirige el Prof. Quintana
Arévalo, está trabajando en el revelado seco de la Gelatina
Dicromatada. Desde hace dos años estos dos grupos colaboran con
los Profs. Aldaz Riera y Feliu Martínez, del Departamento de Química
Física en metrología de estructuras micrométricas
poliméricas y en su aplicación a la producción de
microelectrodos de aplicación electroquímica.
Foto Juan Manuel Torregrosa
1 Physics Today, vol. 50, nº 10, oct. 1997, p. 26-33. 2 J.J. Thompson y G.P. Thompson, Conduction of Electricity Through Gases, 3ª ed., vol. I (1928), vol. II (1933). 3 E. Schrödinger, La Naturaleza y los griegos, Aguilar, 1961. 4 M. Rodríguez Vidal. La Electricidad en el siglo XVIII, Ral Academia de Ciencias Exactas, Físicas y Naturales, 1983. 5 E. Nasser. Fundamentals of gaseous ionization and Plasma Electronics. Wiley-Interscience, 1971. 6 S. Chandrasekhar, Plasma Physics. Phoenix Books, The University of Chicago Press, 1962. 7 J.A. Ratclife, El sol, la tierra y las radiaciones. Introducción al estudio de la ionosfera y de la magnetosfera. Biblioteca para el Hombre Actual. Ed. Labor. 8 J.L. Delcroix, Introducción a la teoría de los gases ionizados, Ed. Alhambra, 1968. L. Spitzer, Física de los Gases totalmente Ionizados, Ed. Alhambra, 1969. 9 J.F. Denisse y J.L. Delcroix, Teoría de las ondas en los Plasmas, Ed. Alhambra, 1968. 10 T.G. Cowling, Magnetohidrodinámica, Ed. Alhambra, 1968. 11 J.R. Reitz, F.J. Milford y R.W Christy, Fundamentos de la teoría electromagnética, 4ª ed. Addison-Wesley Iberoamericana, 1996, cap. 14. 12 M. Rodríguez Vidal y J.A. Vallés Abarca. Curso Electromagnetismo, Unidad Didáctica 3, Ondas electromagnéticas libres", Temas X y XI, UNED, 1977. 13 P.C. Clemmow y J.P. Dougherty, "Electrodynamics of Particles and Plasmas, Addison-Wesley 1969. 14 A. Grill, Cold Plasma in Materials Fabrication. From Fundamentals to Applications, IEEE Press, 1994, pag. 20. 15 Physics Today, vol. 45, nº 1, enero 1992, págs. 22-42. 16 Physics Today, vol. 45, nº 9, sept. 1992, págs. 32-50. 17 F.F. Chen. Introduction to Plasma Physics and Controlled Fusion. 2 vols. Plenum Press, 1984. 18 Europhysics News, vol. 29, nº 6, Nov/Dic 1998, "Fusion Special Issue". 19 J.A. Vallés Abarca. "Bases fisico-químicas del procesado por Plasma" en Curso de Verano de la UCM, Microelectrónica: Materiales y Dispositivos, 23-27 de julio de 1990. 20 O. Auciello, A. Gras Martí, J.A. Vallés Abarca y D.L. Flamm, (eds). Plasma-Surface Interactions and Processing of Materials, NATO-ASI, Alicante, 4-16 de septiembre de 1989. Kluwer Academic Publishers 1990. 21 T. Sugano, ed. Applications of Plasmas Processes to VLSI Technology, Wiley-Interscience, 1985. 22 M.A. Satorre Aznar. Evolución de la materia en el espacio: modelos de laboratorio para aplicaciones astrofísicas. Tesis Doctoral, 1998. 23 M. Pastor Blas, et al. "Surface characterization of Synthetic Vulcanized Rubber Treated with Oxigen Plasma", Surface and Interface Analysis, vol. 26, 385-399 (1998). 24 J. Mora, et al. "Evaluation of a microwave desolvation
system in ICP mass spectrometry with low acid concentration solutions".
Journal of Analytical Atomic Spectrometry, vol. 13, 175-181 (1998).
I.2 Acto de apertura del curso académico 1998-1999 (2 de octubre de 1998) |